一 | 当地时间8月23日，半导体行业研究机构SemiAnalysis发文称，NAND闪存制造正从钨转向钼，因为当NAND来到300层以上，钼是必选项。
二 | 太震撼了！马斯克的火箭“活着”回来了！
北京时间10月14日上午7点左右，美国得克萨斯州博卡奇卡发射场，SpaceX的新一代重型运载火箭“星舰”成功完成第11次试飞。
SemiAnalysis分析，3D NAND闪存堆叠层数突破300层后，钨字线在电阻、化学兼容性和深孔填充三方面均触及物理极限，钼成为强制替代材料。三星已于2024年量产，美光2025年跟进，SK海力士计划2026年底推出375层钼工艺产品。
这次试飞马斯克大获成功。从发射、回收、入轨，再到溅落，全程高能，完成了所有的测试目标。
三 | 整个过程超级震撼： 点火之后，33台第二代猛禽发动机同时咆哮，巨大的轰鸣声甚至让几公里外的观众们都在颤抖，发动机喷射出高达7590吨的恐怖推力，将这个121米高的钢铁巨兽——星舰S38，推向天空。
四 | 其估计，钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比，增长至2027年的约30%。 更进一步的，该机构提出，钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。
五 |
这次使用的超重型助推器，是第二次重复使用，它曾在第8次试飞中服役，并且完整地实现了回收。
火箭顺利通过最大动压点（MaxQ)。MaxQ是个物理学概念，一是火箭越飞越快，压力就很大；二是火箭越飞越高，空气密度更低，也会带来压力变化。
MaxQ就是压力的一个极值点，在这个点上，发生事故的概率最大。
该机构称，每一次从钨到钼的转换，都意味着需要新的沉积设备。SemiAnalysis估计，仅2027年一年，NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元，并随着DRAM和逻辑芯片的跟进，到2030年增长至约20亿美元/年。
两分钟之后，火箭成功执行热分离。 受益格局方面，Lam Research（泛林集团）最先获益，TEL（东京电子）紧随其后；AMAT（应用材料）、ASMI（ASM国际）及Naura（北方华创）则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。SemiAnalysis表示，完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备（WFE）模型。
六 | 钼渗透率在高层数NAND中提升，本质是为延续NAND单位Bit成本下降曲线。
七 | 300层NAND主要在结构上升级，聚焦超高深宽比通道孔刻蚀、多次Stack堆叠、晶圆翘曲控制以及Overlay精度控制。
八 | 这个“热分离”，难度非常大，被称为“疯子操作”，传统火箭是一级火箭熄灭再分离，而热分离完全不同，猛禽助推器关闭了30台发动机，只留下3台继续工作，星舰的上级飞船就直接点燃自己的6台发动机，把自己“炸”了出去，继续奔向太空。
九 | 随后，助推器上演了一场教科书式的返航，它精准地在空中完成掉头，再入大气层，并且还在墨西哥湾上空模拟了下一代超重型助推器的着陆点火程序，最终以几乎悬停的姿态稳稳地降落在了海面，成功实现软着陆。
十 | 星舰亚轨道飞行主要阶段示意图图源：SpaceX 最后，星舰爆炸解体。 375层乃至400层以后，材料亟需升级，因钨字线会因为字线间距通道孔缩小面临RC延迟快速恶化、WF残氟导致介质损伤、漏电失效率提升以及填充缺陷放大的问题。
十一 | 而钼凭借更低电阻率、无氟前驱体及无需阻隔层等优势，有望改善RC性能与器件可靠性，为字线和存储孔缩放提供工艺余量，从而延续高层数NAND的成本下降曲线。 中银证券表示，SK海力士已完成375层3D NAND生产验证并计划2026年底量产，拟采用钼材料替代钨制作字线，继三星在286层第九代3D NAND中率先导入钼工艺后，两大存储龙头相继切换，钼替代钨趋势确立。但是这个爆炸是主动引发的爆炸解体。 然而，钼的材料加工更为复杂，因为必须以气体形式输送，且前驱物在室温下为固体，需要加热器以确保流动稳定性。 基于此，300层以上3D NAND字线由钨切换为钼，并不是简单更换靶材或者更换气体材料，而是前驱体供给、ALD沉积腔体、刻蚀、清洗、尾气处理整套工艺链条的重构，原有钨CVD产线硬件无法直接复用，将直接推动晶圆厂资本开支上行，同时设备、特种材料、零部件均迎来变化。 爱建证券表示，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。 全场的人热血沸腾！ 这次发射为什么这么重要？ 如同美国专业航天网站NASASpaceFlight.com形容说：“星舰”11是一个时代的结束，也是另一个时代的开始。 这是第二代星舰的最后一次飞行测试。
十二 | 其中—— 沉积：成熟的WF钨工艺，Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口，同时有望减少阻隔层使用，带动沉积设备及配套工艺升级； 输送：Mo前驱体通常采用低挥发性固态源，与传统WF气态前驱体体系差异较大，需要新增气化装置、温控管路及精密供气系统，以保障前驱体稳定输送； CMP：Mo材料的氧化及表面化学特性不同于传统金属体系，需重新开发CMP研磨液和研磨垫，以满足平坦化、去除速率及缺陷控制要求； 清洗：Mo导入后残留物及氧化物体系发生变化，高深宽比结构下金属残留和污染控制难度提升，有望推动相关湿法清洗设备及配套化学品验证导入； 刻蚀环节则需重新建立适配钼材料的工艺窗口，且3DNAND层数持续提升下，刻蚀选择性、侧壁形貌控制及层间均匀性要求进一步提高，有望带动相关刻蚀设备升级需求； 量检测：Mo量产还需新增膜厚均匀性、填充缺陷、金属残留及电学可靠性等监控项目，有望带动薄膜量测、缺陷检测及电性测试等设备需求增长。
美国得克萨斯州博卡奇卡，SpaceX星舰11号发射前
SpaceX对第11飞的目标很明确，就是在第10飞的基础上去对飞船返回发射场相关的太空点火、返场机动和导航优化等进一步测试。
这次为了极限测试，工作人员特意移除了部分隔热瓦，让飞船的钢制结构直接暴露在数千度的高温等离子体中，飞船就像一个火球。 该机构称，NAND工艺迭代核心从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新，新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级，Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级，相关设备及零部件厂商有望受益。就是在这种情况下，飞船进行复杂的机动测试，竟然还能毫发无损地挺了过来。
这次试飞的成功，标志着星舰第二代飞船完美收官。之后，SpaceX就会全力研发第三代星舰了。
马斯克曾经说过一句话：“得在我死之前到达火星，没有什么强制手段能确保我们到达火星，除了我们这群人，除了我自己。
（文章来源：科创板日报）。”
他还预估了一个最早飞向火星的时间，2029年。
现在看，这个目标已经离我们越来越真实。
其实，SpaceX的胜利，不是某一项技术的胜利。而是马斯克用“第一性原理”的思考方式，彻底砸碎了旧的航天游戏规则，马斯克改写了一套新规则。
为了在2029年实现登录火星的目标，让人类成为跨星球生物，马斯克像放烟花一样发火箭。
过去的游戏规则都是高成本、长周期、不可回收，技术迭代很慢。而马斯克这种看似非常烧钱、非常无脑、非常浪费的炸火箭方法，其实反倒是技术进步最快，也是最便宜的一种方法。
因为所有的技术都有风险，所有的测试都要付出成本，而时间成本和人员成本，远比火箭本身更贵。
马斯克就通过不断“炸火箭”的方式积累数据。所以星舰爆炸的时候，SpaceX的工程师，不是沮丧，而是兴奋，他们知道它的极限在哪了。一次次的数据采集，拓宽了人类认知的边缘。
SpaceX的官网上也写下了一句朴实而有力量的话——更多的星舰已经准备好飞行。
马斯克为了激励更多的人加入太空探索行列，就像特斯拉汽车一样，他把星舰所有的设计图纸全部公开。
他曾经说过：专利只是弱者的游戏，我从来不畏惧抄袭。
回顾SpaceX的历史，技术上的难题，很少能够阻挡他们。反倒是技术之外的事情，有更大的限制。
比如，之前的几次实验，美国联邦航空管理局（FAA）经常卡着SpaceX的发射进度，用的还都是什么火箭发射会影响乌龟生蛋、内部得走审批流程等理由。
十三 | 之前有一次，FAA就指责星舰发射摧毁了9窝鸟蛋，马斯克后来在推特上阴阳怪气地表示：“为了弥补这一令人发指的罪行，我将戒蛋卷一周”。 星舰的发射测试必须经过十几个监管部门的批准，而很多公职人员并不像马斯克一样对风险情有独钟。SpaceX的工程师，要面对各种安全审查和要求。其中一个工作人员容科萨就说：“为了拿到发射许可，简直要蜕一层皮。
十四 | ” 马斯克是非常讨厌那种畏畏缩缩、又繁文缛节的人和程序。 他曾讲过一句很有哲理的话：“文明就是这样衰落的，因为他们放弃了冒险。当他们放弃了冒险事业，文明的动脉就会硬化。” 他批评美国政府说，真刀真枪的实干家越来越少，动动嘴皮子吹哨的裁判员却越来越多。并认为这就是为什么美国会航天衰落的原因。 而且他也不认可过去美国国家航空航天局对火箭零部件规定的数百种规格与要求，认为这些不是什么金科玉律。 他反复叮嘱工程师们：“你唯一要遵守的就是物理学定律能推导出来的规则，其他一切都只是建议。” 所以你看，全世界都一样，走到哪里，对任何一个国家而言，创新都是要冒险的，是有成本和代价的，决不能外行领导内行，不能给干事者添堵。 所以说，谁的环境更包容，更能激发企业家创新精神，谁就更有未来竞争力。 在发射前的第16分钟，马斯克突然出现在直播间里，开心地像个两百斤的孩子。
十五 | 发射成功后，一群年轻的工程师发自内心的那种欢欣鼓舞，那种热烈的成就感，那种眼神中的清澈和喜悦……我们仿佛好久未见了，我们好像忘记了为一件事情沉浸和着迷的感觉了。 世界是由一群有童心的人创造的。
十六 | 从1492年哥伦布的大航海，到莱特兄弟执着于人要“像鸟一样飞行”；从旅行者1号“暗淡蓝点”那孤独的回望，到马斯克的火星梦想……人类对星辰大海的好奇心，是推动文明不断突破边界的永恒动力。 马斯克的星舰，他的想象力，他的疯狂和桀骜不驯，不论成败，一切皆如史诗，磅礴壮丽。 参考文献： [1].《一文读懂星舰“十一飞”：二代星舰谢幕，“筷子夹飞船”就要来了》，腾讯科技[2].腾讯科技视频号、小冷说科技视频号、芬达说视频号、特费电视频号 [3].《第11次试飞成功，“星舰”实现“活着回来”》，京报网 [4].《埃隆·马斯克传》，中信出版社。
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Published on:02:12:19
